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二次離子質譜

應用：痕量雜質定性定量（標樣法）分析

優點：檢測限可達PPM，甚至PPB量級，能檢測含氫在內的所有元素及同位素，分析化合物組分及有機大分子

             結構，能夠進行微區成分的成像及深度剖面分析

缺點：定量差，樣品表面需要平整，破壞樣品

應用領域：半導體及微電子領域：基體表面痕量雜質分析

環境領域：大氣中微粒成分分析、地質樣品

納米材料的結構